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MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa,测量范围涵盖(0~2)SLPM到(0~1500)SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备,这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性,并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制,其控制范围为0.1至1MPa(15至150 PSI)的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器,标准连接器为NPT1/8'至1/2',其他定制连接器可根据要求提供。
MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发,采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。长久以来,转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制,但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计,实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。
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矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )
是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商
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新闻 同行业的先行者与领导者
  • 11月11日—14日,我司参加了2024年在德国杜塞尔多夫举办的MEDICA国际医疗设备展览会。作为全球领先的医疗健康行业盛会,MEDICA不仅是一个展示最新医疗技术和产品的舞台,更是一个汇聚全球医疗行业精英、促进国际交流合作的重要平台。在本届展会上,我们展示了一系列创新的医疗设备和解决方案,与全球的医疗健康专业人士、企业决策者以及创新者进行深入的交流与合作。共同探讨未来的医疗健康趋势,以及如何通过创新技术改善人们的生活质量。
    2024 - 11 - 19
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  • 中国国际半导体博览会将设置八大特色展区,链接全产业生态,还将举办包括“开幕式及主论坛”、 “2024 全球IC企业家大会”等十余场专题论坛,以及产业对接会、新品发布会、行业赛事以及人才招聘会等同期活动。我司将于2024年11月18—20日参加本次半导体博览会,诚挚邀请您莅临我们的展位E3馆 B-208,亲自体验我们的产品,并与我们的技术团队进行面对面的交流。期待能够与各位业界专家、合作伙伴及客户进行深入交流,共同探索半导体技术的新机遇。
    2024 - 11 - 14
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  • LF3000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间(TTOF)传感和封装技术制造。产品量程比宽,精度高,可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK,独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等,还可以根据请求进行定制。产品特点:1、采用MEMS热飞行时间(TTOF)技术2、量程比大于100:13、良好的温度效应4、机械接口UNF 1/4"-28或NPT 1/8"5、死腔小于7μL6、蓝牙通讯,便于实现云数据存储从2024.7.10起恢复供货,详情请查看产品中心。
    2024 - 07 - 10
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  • FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感器芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用表贴式安装,使安装尺寸更加紧凑,可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感器芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用表贴式安装,使安装尺寸更加紧凑,可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。产品特点:1、传感器灵敏度高,有极小的始动流量2、表贴式安装,结构紧凑3、多种信号输出4、零点稳定度高5、全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性6、低功耗、低压损本次升级,采用了本公司第四代MEMS芯片,提高了产品可靠性,并改善了温度效应:但机械尺寸,电气性能等都保持不变,可以实现对 FS5001L的直接替代。升级后的型号为FS5001E。详情请查看产品中心。附件:关于FS5001L系列气体质量流量传感器升级为FS5001E的通知.pdf
    2024 - 07 - 03
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  • 6月26-28日,SEMI-e第六届深圳国际半导体展在深圳国际会展中心(宝安新馆)4、6、8号馆圆满收官!我司展示了MEMS原理技术的MFC流量控制器、质量流量计/传感器及流量开关等系列产品,与不少行业相关的专家和客户进行了友好的交流,期待展开进一步的广泛合作。
    2024 - 07 - 02
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  • FS8003P系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品采用螺纹接口,易于安装,可用于固晶机等多种工业设备。FS8003E系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品采用螺纹接口,易于安装,可用于固晶机等多种工业设备。产品特点:1、传感器灵敏度高,有极小的始动流量2、响应速度快3、低压损4、安装方便本次升级,采用了本公司第四代MEMS 芯片,提高了产品可靠性,并改善了温度效应:但机械尺寸,电气性能等都保持不变,可以实现对 FS8003P 的直接替代。升级后的产品型号确定为FS8003E。详情请查看产品中心。附件:关于FS8003P系列气体质量流量传感器升级为FS8003E的通知.pdf
    2024 - 06 - 12
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  • MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发,采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。长久以来,转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制,但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计,实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。产品特点:1、传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了流量计的高精度计量2、在单个芯片上实现了多传感器集成,使其基础量程比达到了30:13、可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据4、LCD显示瞬时流量和累积总量5、配有RS485通讯模块,便于集中控制和远程传输6、与传统转子流量计相同的气路接口7、机械尺寸与流量范围可根据客户需求定制量8、可选3.6V锂电池供电详情请查看产品中心。
    2024 - 06 - 01
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  • 5月17-19日,第25届全国医院建设大会暨国际医院建设、装备及管理展览会(简称CHCC2024)在成都西部国际博览城隆重举行。我司与不少行业相关的专家和客户进行了友好的交流,并达成广泛共识,期待展开进一步的广泛合作。
    2024 - 05 - 31
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