MFC4000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS
热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的敏感性，可以配合软件进行气体识别。本本产品的量程比为100:1，可工作于压力0.1~0.8MPa和温度0~50℃的各类过程控制。该产品适用于各类分析仪器及其他应用场景。标准产品设计采用UNF螺纹接口，方便转换为其他机械接口（双卡套、VCR等），其它机械接口也可根据需求定制。
产品特点：1、采用MEMS热量传感技术
2、量程比大于100:1
3、良好的温度效应
4、机械接口可定制
5、各种标准通讯选项可供选择
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