微压差传感器 - 矽翔微机电系统有限公司

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MF3000系列气体质量流量计

发布时间： 2024 - 04 - 10

MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。

MFC2000系列质量流量控制器

发布时间： 2022 - 09 - 12

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。

MF6600系列气体质量流量计

发布时间： 2024 - 04 - 10

MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。

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FSP1000系列数字式微压差传感器

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FSP1000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP1000的在低压差下有较高的灵敏度，具有唯独和海拔高度补偿，响应时间快，同时提供线性化数字（I2C）和模拟信号，可用于HVAC（暖通空调系统）和CPAP系统（持续正压通气系统）。
FSP2000系列数字式微压差传感器

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会员价 0

市场价 0

FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的，提供了一种独特的压差和压力（表压）组合输出形式。FSP2000的集成度高，空间小，可用于CPAP系统（持续正压通气系统）的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化，FSP2000中的压差传感器可用于流量测量，而压力（表压）传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。

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