气体质量流量计 - 矽翔微机电系统有限公司

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发布时间： 2022 - 09 - 12

FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

FS1100系列气体质量流量传感器

发布时间： 2023 - 06 - 28

FS1100系列气体质量流量传感器是专门为各类医用呼吸机气体测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计，测量范围最大可到250SLPM。

FS4001系列气体质量流量传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS4001系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。

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MF5900系列气体质量流量计

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MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。
MF-FD系列管道式气体质量流量计

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MF-FD系列管道式质量流量计是专为工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA/脉冲等）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25～100mm的管道，且精度可达到±(1.5+0.5FS)%，工作环境温度为-20～+60oC，最大工作压力1.5 MPa，同时，我公司的封装技术确保了流量计的卫生指标，可应用于饮料食品行业的气体测量，如：CO2 。除此之外，该产品还可广泛应用于其他行业的气体测控，如：冶金行业的特殊气体监控，化工行业的氢气流量监控，生产过程中的氧气、氮气、氦气、氩气、压缩空气等的监控。
MFI系列插入式气体质量流量计

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MFI系列插入式质量流量计是专为大管线的气体监测控制而设计，进行在线安装将不再困难，同时更加经济。插入式质量流量计配有自密式阀门，从而为客户提供了一个在最轻微干扰的情况下解决气体测量的有效方案。建议使用在管径80~300mm的管线上。所有插入式质量流量计的精度为±(1.5+0.5FS)%，并可依据客户需求达到更高标准。该产品的工作环境温度为-20~+60oC，工作压力为1.5 MPa。该产品还可应用于生产过程中的气体测控，如：氧、氮、氦、氩、压缩空气等气体的监测和控制，除此之外，还可广泛应用于其他领域。
MF-HD系列气体质量流量计

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MF-HD系列中低压质量流量计是专为各类公用事业气体计量而设计。该计量采用Siargo专有的MEMS（微机电系统）热（D-thermal）传感技术设计和制造。该产品为具有大动态范围的气体提供质量流量计量，同时具有低压降。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本，可测量天然气、液化石油气、压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到1.5 %，最大工作压力300 kPa 。
MF-GD系列中低压气体质量流量计

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MF-GD系列中低压质量流量计是专为各类中低压气体的测量而设计。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本。可适用于管径25～80mm的管道，可测量压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到±(1.5 +0.5FS)%，最大工作压力0.2 MPa 。
MF2000系列气体质量流量计

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MF2000系列气体质量流量计是专为各类低成本工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25~50mm的管道，精度为±(1.5+0.5FS)%，同时有50:1的量程比。
HMF2000系列手持式气体质量流量

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HMF2000系列手持式气体质量流量计是专门为仪器仪表及在线检测大量程多种气体精密测定和检测设计的。产品采用了MEMS流量芯片测量专利技术，具有超大测量量程和极低流速测量的能力，从而可用于特别是类似于色谱仪、大气采样等仪器仪表及气体在线应用，以保证定期检查和系统的正常运行。

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