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MFC2000系列质量流量控制器
MFC2000系列质量流量控制器
发布时间： 2022 - 09 - 12
MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。
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FS4308系列气体质量流量传感器
FS4308系列气体质量流量传感器
发布时间： 2023 - 06 - 28
FS4308系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~50）SLPM。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。
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FS5001E系列气体流量传感器
FS5001E系列气体流量传感器
发布时间： 2022 - 09 - 12
FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
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气体质量流量传感器

FS6122系列医用CPAP传感器模块
产品类别： 气体质量流量传感器

FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。
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FS6122系列医用CPAP传感器模块
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    FS7002系列质量流量/防堵塞传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类一般用途的清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，大批量生产以确保高可靠性，高性能和低成本。该传感器是专为快速测量流速变化而设计，适用于多种设备，如LCD投影仪的散热系统、空气清新机、各种仪器、通风管道或风扇马达等，可及时反馈散热系统过滤器的运行情况并防止因为堵塞而引起的异常情况。
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