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MFC2000系列质量流量控制器
MFC2000系列质量流量控制器
发布时间： 2022 - 09 - 12
MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。
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FS4308系列气体质量流量传感器
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发布时间： 2023 - 06 - 28
FS4308系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~50）SLPM。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。
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FS5001E系列气体流量传感器
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发布时间： 2022 - 09 - 12
FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
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气体质量流量传感器

FS8000系列气体质量流量传感器
产品类别： 气体质量流量传感器

Fs8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品采用螺纹接口，易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
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FS8000系列气体质量流量传感器
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