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发布时间： 2023 - 06 - 28

FS4308系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~50）SLPM。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。

FS5001E系列气体流量传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。

FS6122系列医用CPAP传感器模块

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。

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气体质量流量传感器

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MFI系列插入式气体质量流量计

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MFI系列插入式质量流量计是专为大管线的气体监测控制而设计，进行在线安装将不再困难，同时更加经济。插入式质量流量计配有自密式阀门，从而为客户提供了一个在最轻微干扰的情况下解决气体测量的有效方案。建议使用在管径80~300mm的管线上。所有插入式质量流量计的精度为±(1.5+0.5FS)%，并可依据客户需求达到更高标准。该产品的工作环境温度为-20~+60oC，工作压力为1.5 MPa。该产品还可应用于生产过程中的气体测控，如：氧、氮、氦、氩、压缩空气等气体的监测和控制，除此之外，还可广泛应用于其他领域。
MF-HD系列气体质量流量计

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MF-HD系列中低压质量流量计是专为各类公用事业气体计量而设计。该计量采用Siargo专有的MEMS（微机电系统）热（D-thermal）传感技术设计和制造。该产品为具有大动态范围的气体提供质量流量计量，同时具有低压降。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本，可测量天然气、液化石油气、压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到1.5 %，最大工作压力300 kPa 。
MF-GD系列中低压气体质量流量计

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MF-GD系列中低压质量流量计是专为各类中低压气体的测量而设计。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本。可适用于管径25～80mm的管道，可测量压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到±(1.5 +0.5FS)%，最大工作压力0.2 MPa 。
MF2000系列气体质量流量计

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MF2000系列气体质量流量计是专为各类低成本工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25~50mm的管道，精度为±(1.5+0.5FS)%，同时有50:1的量程比。
HMF2000系列手持式气体质量流量

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HMF2000系列手持式气体质量流量计是专门为仪器仪表及在线检测大量程多种气体精密测定和检测设计的。产品采用了MEMS流量芯片测量专利技术，具有超大测量量程和极低流速测量的能力，从而可用于特别是类似于色谱仪、大气采样等仪器仪表及气体在线应用，以保证定期检查和系统的正常运行。
MFC4000系列质量流量控制器

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MFC4000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至0.8MPa（15至120 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品适用应各类分析仪器及其他应用场景，标准连接器可选UNF或双卡套，其他定制连接器可根据要求提供。
LF3000系列微液体流量计

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LF3000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间（TTOF）传感和封装技术制造。产品量程比宽，精度高，可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK，独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等，还可以根据请求进行完全定制。
LM1100系列液体流量计

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LM1100系列液体流量计采用公司自主研制的微机电热飞行时间传感器。产品量程比大于50:1，稳定性好，温度性能好。应用领域包括各类半导体过程控制、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等，还可以根据请求进行完全定制。
FSP1000系列数字式微压差传感器

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FSP1000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP1000的在低压差下有较高的灵敏度，具有唯独和海拔高度补偿，响应时间快，同时提供线性化数字（I2C）和模拟信号，可用于HVAC（暖通空调系统）和CPAP系统（持续正压通气系统）。
FSP2000系列数字式微压差传感器

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FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的，提供了一种独特的压差和压力（表压）组合输出形式。FSP2000的集成度高，空间小，可用于CPAP系统（持续正压通气系统）的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化，FSP2000中的压差传感器可用于流量测量，而压力（表压）传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。

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