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发布时间: 2024 - 04 - 10
MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa,测量范围涵盖(0~2)SLPM到(0~1500)SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
发布时间: 2022 - 09 - 12
MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备,这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性,并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制,其控制范围为0.1至1MPa(15至150 PSI)的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器,标准连接器为NPT1/8'至1/2',其他定制连接器可根据要求提供。
发布时间: 2024 - 04 - 10
MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发,采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。长久以来,转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制,但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计,实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。
液体流量计
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    LF3000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间(TTOF)传感和封装技术制造。产品量程比宽,精度高,可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK,独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等,还可以根据请求进行完全定制。
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    LM1100系列液体流量计采用公司自主研制的微机电热飞行时间传感器。产品量程比大于50:1,稳定性好,温度性能好。应用领域包括各类半导体过程控制、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等,还可以根据请求进行完全定制。
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